​精密机械是指通过高精度设计、制造和装配，能够实现微米级甚至纳米级精度操作、测量或控制的机械装置与系统，广泛应用于航空航天、医疗器械、电子制造、精密仪器等对精度和可靠性要求极高的领域。它融合了机械设计、材料科学、精密测量、自动控制等多学科技术，是高端制造业的核心基础。
半导体制造
光刻机：核心精密机械系统，需将光刻图案以纳米级精度投影到晶圆上，其工作台定位精度达 ±2 纳米，是芯片制程突破的关键。
晶圆划片机、键合机：实现微米级切割和芯片封装，确保半导体器件的电学性能。
航空航天与国防
惯性导航系统：陀螺仪、加速度计等精密机械元件，需在极端环境下保持 0.001°/h 的漂移精度，为航天器、导弹提供导航基准。
卫星天线调整机构：实现天线指向精度 ±0.1°，确保与地面通信的稳定性。
医疗器械
手术机器人（如达芬奇机器人）：机械臂末端操作精度达 0.1 毫米，可完成微创外科手术中的精细动作（如缝合血管）。
精密输液泵：流量控制精度 ±1%，确保药物剂量的精准输送。
精密仪器
电子显微镜：通过精密机械结构控制电子束聚焦和样品移动，分辨率达 0.1 纳米，用于材料微观结构观察。
激光干涉仪：作为长度基准仪器，测量精度可达 0.01 微米，用于校准其他精密设备。
高端装备
精密数控机床：五轴加工中心的定位精度达 ±5 微米，可加工航空发动机叶片等复杂曲面零件。
光学仪器：如天文望远镜的镜面调整机构，定位精度达微米级，确保星光聚焦的清晰度。