​超精密机械加工是一种加工技术，能够实现纳米级和亚微米级的加工精度。这种技术主要依赖于综合应用精密机械、精密测量、精密伺服系统和计算机控制等各种先进技术。超精密加工技术广泛应用于光学零件、精密轴承、光盘驱动器、电子器件、飞机结构件和医疗器械等关键领域。
小编总结一下以下是超精密机械加工时减少故障现象的措施有：
针对加工刀具的伸出长度，尽量缩短伸出长度，减小刀具和工件的动静摩擦系数及相对摩擦速度。
针对切削用刀具，要增加刀具的刚性和硬度，减少刀具的磨损。
针对被加工件，在不影响使用性能的前提下，应降低对它的要求。
适当提高系统的刚度，特别是工件和刀架的刚度。
采用新的制造工艺和新型合成材料，提高切削速度。
在精加工时尽可能减少或避免切削用量。
选择工件在卡盘上的夹持位置时，尽量减少悬伸长度，以防止工件受重力而变形。
减少工件热变形的措施主要是设法降低切削温度。例如：使用冷却液、合理选择刀具材料、改进刀具角度和切削用量等。
尽量使刀具在恒温下进行加工。
防止机床各部的热变形，如采用隔热措施。
避免刀具内部产生热量而影响其热平衡。
避免机床内部热量传导到刀具或工件上。
正确选择工件和刀具的夹持装置，增加其夹紧的可靠性。
尽量减少工件夹持部分的长度，并避免悬伸过长。
提高工件内孔与外圆的同轴度。
在切削过程中，合理选择切削用量，并改善排屑条件，避免产生切削力过大的现象。
提高操作者的技术水平，防止人为操作失误造成故障。
以上都是一些常见且实用的措施，另外还可以根据具体加工情况进行技术研发和改造。